B81C - Speciaal aangepaste processen of apparatuur voor het maken of behandelen van microstructurele inrichtingen of systemen

(maken van microcapsules of microbolletjes B01J 13\5; processen of apparatuur die hoort bij het maken of behandelen van piëzo-elektrische, elektrostrictieve of magnetostrictieve elementen op zich H01L 41\5) [7,8]

Aantekeningen

(1) Onder deze subklasse vallen geen: - processen of apparatuur voor het maken of behandelen van zuiver elektrische of elektronische inrichtingen, welke vallen onder de Sectie H, bijv. groep H01L 21\5; [7] - processen of apparatuur waarbij sprake is van het manipuleren van losse atomen of moleculen, welke vallen onder de groep B82B 3\5. [7]